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nEXT 930 渦輪分子泵
EDWARDS在nEXT渦輪分子泵基礎上新增了下一代nEXT730和nEXT930，通過nEXT730和nEXT930，EDWARDS擴展了我們的市場領先的nEXT平臺的范圍，兩個新的更大的泵提供速度顯著超過7001/S和9001/S。除了針對一般的研發市場，這批分子泵的設計還滿足了涂料市場和其他分散市場部門的需求，如熱處理、爐膛應用、電子束焊接、離子注入、脫氣和氣缸排氣等。
性能特點
? 更高抽速（N2）- 730 l/s、925 l/s
? 360°任意角度安裝
? TIC 控制器可同時控制分子泵和三路真空規管
? 維護間隔長，用戶可自主維護
? 設計靈活，滿足OEM定制需求
性能曲線
幾何尺寸
技術指標
| 930D | |
|---|---|
| 入口法蘭 | ISO200， CF200 |
| 出口法蘭 | KF25 |
| 抽速 | |
| N2 | 925 1/s |
| Ar | 865 1/s |
| He | 9051/s |
| H2 | 735 1/s |
| 漏率（mbar. 1/s） | |
| N2 | 14 1/s |
| Ar | 3.5 1/s |
| He | 21 1/s |
| H2 | >>14 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >1×1011 |
| Ar | >1×1011 |
| He | 1.2×108 |
| H2 | 4.0×106 |
| 極限真空 | <3.5×10-9 /<6×10-10mbar |
| 前級真空壓力 | 15mbar |
| 額定轉速 | 49200 min-1 |
| 啟動時間 | 2.5min |
| 功率范圍 | 40~400w |
| 冷卻標準 | 對流 |
| 冷卻方式 | 空冷/水冷 |
| 最小水冷流速 | 60 1/h |
| 允許冷卻水壓力 | 6bar(g) |
| 水溫范圍 | 15~35℃ |
| 重量 | 15.4kg ，21.7kg |
| 噪音 | <52 ±2 dB（A） |
| 烘烤期間的進氣法蘭允許最高溫度（水冷） | 100℃ |
| 可處理氣體流量 | 0.4mbar.1/s ，24sccm |
| 放氣口/吹掃口 | G 1/8″ |
訂貨信息
| 貨號 | 描述 |
|---|---|
| B8K200D00 | nEXT 930D渦輪分子泵：NW25 ISO-K 200 |
| B8K200F00 | nEXT 930D渦輪分子泵：NW25 CF200 |