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STPH301C 渦輪分子泵
Edwards的高性能STPH301C渦輪分子泵是為最苛刻的半導體應用而設計的。該泵性能領先、運行可靠，成就了它在絕大多數工藝流程中一流的性能。
STPH301C已為業內所認可，廣泛應用于半導體和磁介質行業的設備研發與制造。
性能特點
? 領先的轉子技術
? 高通氣量
? 適合于絕大多數工藝流程
? 無油
? 低振動
應用領域
? 金屬（如鋁）、鎢、絕緣體（氧化物）以及多晶硅的等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
? 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
? CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD鍍膜
? 濺射
? 離子注入源、射線束泵送端點站
性能曲線
幾何尺寸
技術指標
| 入口法蘭 | ISO100K |
|---|---|
| 前級抽氣口 | KF40 |
| 吹掃口 | KF10 |
| 水冷安裝 | PT1/4 |
| 抽速 N2/ H2 | 300/200l/s |
| 壓縮比 N2/H2 | >108/103 |
| 極限真空（加熱） | 10-7 Pa |
| 前級允許壓力 | 660Pa |
| 最大N2通量 | 2500sccm |
| 額定轉速 | 48000rpm |
| 啟動時間 | 4min |
| 入口法蘭允許溫度 | 120 °C |
| 輸入電壓 | 200~240 V （± 10）AC |
| 啟動功耗 | 0.6kVA |
| 泵重 | 15 kg |
| 控制器重 | 9kg |
訂貨信息
| 貨號 | 描述 |
|---|---|
| B71901010 | STPH301C渦輪分子泵 進口ISO100K |
| YT340Z004 | STPH301C渦輪分子泵 進口DN100CF |
| YT3416001 | STPH301CV TMS渦輪分子泵 進口ISO100F |
| YT3416005 | STPH301CV TMS渦輪分子泵 進口DN100CF |
| YT49Z2Z00 | SCU-800控制器 |
| B75130020 | STP控制電纜，5m |
| PT330V000 | TMS連接電纜套件，5m |