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STP-iX455 渦輪分子泵
STP-iX455渦輪分子泵采用獨創的磁懸浮軸承和電機驅動系統，與以前的普通渦輪分子泵相比振動降低了50%。泵體上集成有控制器，不再需要傳統的機架安裝控制器及連接電纜，無需水冷。
STP-iX455渦輪分子泵對氮氣抽速為450l/s，非常適合電子顯微鏡、測量、光刻以及其它對振動敏感的應用。
性能特點
? 設計緊湊，包括完整的集成控制器
? 獨創的自適應磁懸浮軸承系統
? 數字化5軸控制
? 與普通渦輪分子泵相比振動降低了50%
? 可用于腐蝕性工藝流程
? 自動平衡系統（ABS）標準
? 自動減振（AVR）標準
? 列于UL中，具有CE標記，符合SEMI? S2
性能曲線
應用領域
? 金屬（如鋁）、鎢、絕緣體（氧化物）以及多晶硅的等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
? 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
? CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD鍍膜
? 濺射
? 離子注入源、射線束泵送端點站
? MBE
? 漫射
? 光致抗蝕劑脫模
? 晶體/晶膜生長
? 晶片檢查
? 裝載鎖真空腔
? 科學儀器：表面分析、質譜、電子顯微鏡
? 高能物理：射線束、加速器
? 放射性應用：核聚變系統、回旋加速器
?
幾何尺寸
技術指標
| 入口法蘭 | ISO100K |
|---|---|
| 抽速 | |
| N2 | 300l/s |
| H2 | 300l/s |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >1×104 |
| 極限真空 | 6.5×10-6 Pa |
| 最大工作壓力 | 1.3×10-1 Pa |
| 允許前級真空 | 67 Pa |
| 額定速度 | 55000rpm |
| 啟動時間 | <6min |
| 安裝位置 | 任何方向 |
| 冷卻方式 | 自然冷卻（加熱和泵送氣體時應水冷或空冷） |
| 潤滑油 | 無需 |
| 前級泵 | 240l/min |
| 軸向方向 | <100m/Gauss |
| 徑向方向 | <100m/Gauss |
| 環境溫度 | 0°C ~40°C |
| 存儲溫度 | -25°C ~55 °C |
| 重量 | 15kg |
訂貨信息
| 貨號 | 描述 |
|---|---|
| PT640Z010 | STP-iX455渦輪分子泵 ISO100K入口法蘭 |
| PT640Z020 | STP-iX455渦輪分子泵 ISO160K入口法蘭 |
| PT640Z050 | STP-iX455渦輪分子泵 DN100CF入口法蘭 |
| PT640Z060 | STP-iX455渦輪分子泵 DN160CF入口法蘭 |
| YT79U1Z00 | iDT-001顯示單元 |
| PT64W0Z00 | iPS240電源 |
| PT64Y0B20 | STP-iX455/iPS240連接電纜，5 m |
| PT64Y0A10 | iPS240電源線，3m |