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STP301 渦輪分子泵
STP301渦輪分子泵常用于電子顯微鏡和半導體應用，領先的轉子技術成就了Edwards分子泵在絕大多數工藝流程中一流的性能。STP301已為業內所認可，廣泛應用于科學儀器、半導體和磁介質行業的設備研發與制造。
STP分子泵入口有篩網。
使用時通常需要訂購STP泵、控制器、連接電纜以及電源線。
性能特點
? 領先的轉子技術
? 適合于絕大多數工藝流程
?無油
? 低振動
? 高可靠性
應用領域
? 金屬（如鋁）、鎢、絕緣體（氧化物）以及多晶硅的等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
? 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
? CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD鍍膜
? 濺射
? 離子注入源、射線束泵送端點站
性能曲線
幾何尺寸
技術指標
| 入口法蘭 | ISO100、CF100 |
|---|---|
| 前級抽氣口 | KF25 |
| 抽速 N2/ H2 | 300/300l/s |
| 壓縮比 N2/H2 | >108/>2×104 |
| 極限真空（加熱） （VG/ISO 法蘭） | 6.5×10-6 Pa |
| 極限真空（加熱） （ICF 法蘭） | 10-8 Pa |
| 進口最大允許壓力 （空冷） | 0.066Pa |
| 前級允許壓力 （空冷） | 13Pa |
| 額定轉速 | 48000rpm |
| 啟動時間 | 3min |
| 入口法蘭允許溫度 | 120 °C |
| 輸入電壓 | 200~240 V （± 10%）AC |
| 啟動功耗 | 0.55kVA |
| 泵重 | 11 kg |
| 控制器重 | 7kg |
訂貨信息
| 貨號 | 描述 |
|---|---|
| B74830020 | STP301渦輪分子泵 進口ISO100 出口KF25 |
| B74831010 | STP301渦輪分子泵 進口DN100CF |
| B74871000 | STP301C渦輪分子泵 進口ISO100 出口KF25 |
| B74871010 | STP301C渦輪分子泵 進口ISO100 |
| B74872000 | STP301C渦輪分子泵 進口ISO100 出口KF40 |
| B74881010 | STP301C渦輪分子泵 進口DN100CF |
| YT21ZOZ01 | SCU-350控制器 |
| YT21CA001 | STP301/451水冷環 |
| YT011A005 | STP301/451/603/1003空冷 200-240 VAC |
| B70700010 | STP控制電纜，3m |