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AIGX 電離真空規
緊湊型有源電離真空規（AIGX）配備兩根涂銥的釔燈絲，測量范圍極廣，從6.6×10-2到6.6×10-10mbar（5×10-2到5×10-10Torr），并且能提供1V/位線性輸出。
Edwards的新型AIGX真空規集工業級有源真空規所有優點于一身，同時集成了電子器件，實現了規管可更換。該真空規有脫氣功能，而且具備保護和延長燈絲使用壽命的功能。
AIGX得益于極低的帶電微粒發射，使它成為不能有背景噪聲的工藝流程的最佳選擇。
性能特點
? 全8位測量功能，可達6×10-10mbar（5×10-10Torr）
? 有兩種款型，每種又有三種真空接口
? D型為9針D接頭，標準接口
? 與主要競爭對手相比，帶電粒子污染減少了30%
? 自動防止在大氣條件下打開燈絲，在高壓下運行或脫氣
性能曲線
幾何尺寸
技術指標
| 測量范圍 | 6.6×10-2~6.6×10-10mbar （5×10-2~ 5×10-10Torr） |
|---|---|
| 電源 | +14.5~+30.0V DC |
| 功耗 | 正常工作：≤7W 脫氣：≤14W |
| 輸出信號 | 線性，1V/位 |
| 響應時間 | 1.33×10-8mbar（>10-8Torr）：100 ms 1.33×10-8mbar（<10-8Torr）：1~2s |
| 最大電壓 | 30V DC |
| 最大電流 | ≤100mA |
| 工作溫度 | 0~ +40°C |
| 存儲溫度 | -30~+70°C |
訂貨信息
| 貨號 | 描述 |
|---|---|
| D04860000 | AIGX-D-NW25 |
| D04861000 | AIGX-D-DN16CF |
| D04862000 | AIGX-D-DN40CF |
| D04850000 | AIGX-S-NW25 |
| D04851000 | AIGX-S-DN16CF |
| D04852000 | AIGX-S-DN40CF |
| D04850805 | AIGX 保險，5件裝 |
| D04850801 | AIGX 規管 NW25 |
| D04851801 | AIGX 規管 DN16CF |